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※従来品のTiny-SEM1710(大形ステージ)にも装着することが可能です。
■ Tiny-EDXS(PIN-1型)仕様
検出器
Si-PIN
冷却方式
ペルチエ2段冷却
分解能
150eV(at 59.5kV)
分析可能元素
11
Na 〜
92
U
分析機能
定性分析、元素マッピング(同時8元素)
サイズ
100 × 70 × 30(突起部を含まず)
本体重量
200g
価格
3,980,000円(税込価格:4,179,000円)
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