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※従来製品にもオプションで対応できます。
◆検出器によるSEM像の比較（試料：ハンダ）
■ Tiny SEM 反射電子検出器 仕様
反射電子検出器
半導体型
検出器装着方式
必要時に専用ポートから挿入
分解能
約20nm （Ｔｉｎｙ SEM Mighty-8 装着時）
※製品改良等のため、外観・仕様等を予告なしに変更することがありますので、ご了承ください。
■ 注意事項
・Tiny-SEMの大形ステージの予備ポートに装着します。
・大形ステージオプションが必要になります。
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