小型・卓上型 走査型電子顕微鏡(SEM) Tiny-SEM Mighty-8DX 高性能・低価格 ガンモニタ・スティグマモニタを搭載 無蒸着1kVから高分解能17kVまでレンズ交換で対応

走査型電子顕微鏡のヴェール・ミー

小型・卓上型の走査型電子顕微鏡 Tiny SEMシリーズの販売・デモ・サポート

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 ■主な特徴


ハードウェアから見た従来製品からの大きな改良点は、低真空モードが追加になった事です。従来は高真空モードのみです。これに伴い検出器に反射電子検出器が追加され、従来からの二次電子検出器と合わせて2種類の検出器の切替が可能となりました。
反射電子検出器では、組成像や凹凸像の観察が可能です。
なお小型SEMでは低真空モードのみの機種もありますが、本装置は高真空モードと低真空モードの切替が可能です。
低真空モードで資料の前処理不要
低真空モードでチャージ現象をなくす事ができ、前処理不要となりました。
低真空でチャージアップ現象が低減され、しかも加速電圧を高くして高分解能での観察が可能となります。
含水性の試料観察も可能に!
含水性の試料は、高真空での観察時に試料が乾燥し観察が困難でした。
低真空モードで観察すれば、本来の形状が観察できます。
真空度が自由に調節できるニードルバルブ搭載
低真空モードでの観察は、必要以上に真空度を下げるとノイズが増大し像質が劣化します。そこで、真空度を試料によって最適に調整できるようニードルバルブを付けました。
これで、試料に合わせてチャージアップ現象が消えるギリギリの真空度で像質の劣化を最低限に抑え観察することができます。
自動機能を超えたシンプルな操作
電子銃ガイドモニターとフォーカスガイドモニターの2つのガイドモニターが搭載されました。また、永久磁石レンズの使用により面倒な調整が不要。高品質で安定したプロ並の観察像が得られます。
スタマイズが簡単!
シンプルな構造で各ブロックごとに簡単に分解でき、それぞれの部分のカスタマイズが簡単で安価に出来ます。
最大で10万倍の倍率まで可能です。
50000倍でもハイクオリティな画像が観察できます。
永久磁石レンズだから面倒な調整は不要です。

分解能は、このクラス最高の10nmの分解能です。
約10nm(17kV)、約30nm(2kV)
無蒸着1kVから高分解能17kVまでレンズ交換で対応します。
 
高真空モードと低真空モードの切替が出来ます。
低真空モードでは、試料のチャージアップ現象をなくす事ができ、前処理なしで試料の観察ができます。また、生物試料のように含水性の試料であっても、比較的長い時間観察できます。さらに本装置では、真空度を自由に調整できるニードルバルブを搭載しています。
 
スティグマモニタを搭載!
わかりづらい非点収差補正がこのモニタでビジュアルに行えます。
画面上でピントの合った箇所を画面の中央に移動するだけで完了です。
 
二次電子検出器と反射電子検出器の2種類の検出器を搭載しています。
反射電子検出器では、組成像や凹凸像の観察が可能です。
2種類の検出器の切替が可能です。
 
ガンモニターを装備することにより、簡単に電子銃の調整ができるようになりました。
軸合わせやフィラメント調整もしっかりできて、最適条件での測定が行えます。
 
実験台に設置できるコンパクトさ。
100Vコンセントさえあれば、
実験台の上にすぐ設置できます。
除振台も不要です。

分解すれば、1つずつ手で持てる重さなので
移動も簡単です。

画像はCFメモリーカードに保存するので
観察時は、パソコンが不要です。
横幅80センチ、奥行45cmの省スペースです。
 
レンズ交換に対応しています。
標準で2kVと17kVのレンズが付属しています。
オプションで1kVと5kVのレンズもあります。
 
付属のパソコン画像取込用ソフトウェア「Tiny-Capture」はシンプル設計なのでCaptureボタンをクリックすると、自動的に画像の取り込みがスタート。誰でも簡単にSEM画像を取り込むことができます。保存もSaveボタンをクリックするだけの簡単ステップです。
インターフェイス本体、ソフトウェア共にOSはWindows Vista, XP, 2000, Meに対応。1280X960画素の高精細SEM画像を取込、BMP形式での保存が可能です。
 
CFメモリーカード(コンパクトフラッシュ)に、画像を保存することができます。
パソコンへは、CFメモリーカード経由で取り込むことが可能です。
標準で256MBのCFメモリーカードが付属しています。
市販のCFメモリーカード(高速タイプ推奨)も使用可能です。
ただし最大画像ファイル数512です。
 
総重量わずか39kgです。
移動もらくらくです。
さらに省エネ設計で環境にも配慮しています。
 ■製品仕様    
 加速電圧 HIGH(15〜17kV)、LOW(2〜3kV)、(1kV、5kVオプション)
 分解能 約10nm(17kV)、(オプションレンズで約8nm可能)、約30nm(2kV)
 倍率 MAX 100,000倍
 電子銃 タングステン熱電子タイプ(ガンモニタ機能付き)
 電子レンズ 永久磁石型電子レンズ
 検出器 2次電子検出器、反射電子検出器
 真空度 高真空、低真空(真空度調整可能):バルブ操作でモード切替可能
 試料サイズ 試料台:MAXφ50mm
X Y Z : X±10mm、 Y±15mm、 Z±2mm
試料回転:360度  試料傾斜:±90度
 真空排気系 ターボ分子ポンプ+ロータリーポンプ
 排気時間 約3分
 画像出力 画像取込ソフト
インターフェイス
画素数
データフォーマット
対応OS
Tiny-Capture
USB2.0
2560×1920、1280×960、640×480
BMP(階調8ビット)
Windows 2000、XP、Vista、Windows 7
 画像保存 記憶媒体
機能
CF(コンパクトフラッシュ)カードインターフェイス内臓
画像の保存、読み出し、削除
 寸法・重量 顕微鏡本体
制御ユニット
モニタTV
ロータリーポンプ
380(W)×350(D)×450(H) 21kg
350(W)×350(D)×120(H) 8kg
340(W)×160(D)×320(H) 4kg
230(W)×130(D)×200(H) 6kg
 電源 単相 100V (50/60Hz) 500W
※製品改良のため、外観・仕様等を予告なしに変更することがありますので、ご了承ください。
 ■価格  
Tiny SEM M3-i 標準モデル
本体価格

顕微鏡本体
ディスプレイユニット
モニタTV
ロータリーポンプ
価格はお問い合わせください
 ■オプション  
Tiny-Coater (マグネトロンスパッタ装置) [標準モデル用]


税込価格:312,900円


Tiny-SEM標準ステージ対応のマグネトロンスパッタ装置です。マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが可能です。

標準モデルのみに対応しています。
大形ステージをお使いの方は、
マグネトロンスパッタMSP-1S形をご使用ください。

詳細はこちらのページをご覧ください。
マグネトロンスパッタ装置(MSP-1S形) [大形ステージモデル用]



※価格についてはお問合せください。

Tiny-SEM大形ステージ対応のマグネトロンスパッタ装置です。マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが可能です。

大形ステージを装着したTiny SEMを購入された方は、こちらの装置をお選びください。

詳細はこちらのページをご覧ください。
レンズセット



※価格についてはお問合わせください。
Tiny SEM M3-iは、標準で2kV、17kVのレンズが
付属しています。

M3-i用のレンズオプションとしては、
1kV、5kVのレンズがご利用できます。

仕様についてはお問い合わせください。

※詳細はこちらのページをご覧ください。