 ハードウェアから見た従来製品からの大きな改良点は、低真空モードが追加になった事です。従来は高真空モードのみです。これに伴い検出器に反射電子検出器が追加され、従来からの二次電子検出器と合わせて２種類の検出器の切替が可能となりました。
反射電子検出器では、組成像や凹凸像の観察が可能です。
なお小型SEMでは低真空モードのみの機種もありますが、本装置は高真空モードと低真空モードの切替が可能です。
 低真空モードで資料の前処理不要
低真空モードでチャージ現象をなくす事ができ、前処理不要となりました。
低真空でチャージアップ現象が低減され、しかも加速電圧を高くして高分解能での観察が可能となります。
 含水性の試料観察も可能に！
含水性の試料は、高真空での観察時に試料が乾燥し観察が困難でした。
低真空モードで観察すれば、本来の形状が観察できます。
 真空度が自由に調節できるニードルバルブ搭載
低真空モードでの観察は、必要以上に真空度を下げるとノイズが増大し像質が劣化します。そこで、真空度を試料によって最適に調整できるようニードルバルブを付けました。
これで、試料に合わせてチャージアップ現象が消えるギリギリの真空度で像質の劣化を最低限に抑え観察することができます。
 自動機能を超えたシンプルな操作
電子銃ガイドモニターとフォーカスガイドモニターの２つのガイドモニターが搭載されました。また、永久磁石レンズの使用により面倒な調整が不要。高品質で安定したプロ並の観察像が得られます。
 スタマイズが簡単！
シンプルな構造で各ブロックごとに簡単に分解でき、それぞれの部分のカスタマイズが簡単で安価に出来ます。 |
実験台に設置できるコンパクトさ。
付属のパソコン画像取込用ソフトウェア「Tiny-Capture」はシンプル設計なのでCaptureボタンをクリックすると、自動的に画像の取り込みがスタート。誰でも簡単にSEM画像を取り込むことができます。保存もSaveボタンをクリックするだけの簡単ステップです。
パソコンへは、CFメモリーカード経由で取り込むことが可能です。
