マグネトロンスパッタ 走査型電子顕微鏡の試料作成 試料にやさしい 操作が簡単 小型でコンパクト 真空度調整 ターゲット プレーナーマグネトロン型ターゲット

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プレーナーマグネトロン型ターゲットです。
極めて低い放電電圧でスパッタさせるので試料にイオンダメージや熱的損傷がありません。


試料台はアノード電極と絶縁したフローティングタイプです。
試料に電子の流入がないので温度上昇が少なく、イオン衝撃によるダメージがありません。


マグネトロンスパッタに最適な真空度は6〜8Paです。
本装置ではロータリポンプの排気速度とエアリークのバランスで自動的に最適真空度範囲を保持します。マニュアルで圧力調整をする必要がありません。


真空排気から放電電圧印加までタイマーでコントロールします。
タイマーには放電終了までのトータル時間をセットします。
タイマーにセットした時間の最初の1分は予備排気時間、残りの時間が実際のコーティング時間になります。


試料をセットしてSTARTボタンを押すとロータリポンプが始動し、1分間予備排気後、放電が始まります。放電が終了するとロータリポンプが停止、試料室とロータリポンプに空気が入ります。


標準ターゲットはAu-Pdです。
Au-Pdは粒状性に優れ高倍率まで対応できるので万能ターゲットとしてお奨めしております。
但し、ご注文時のご指示によりAu, Pt-PdまたはPtターゲットに変更も可能です。


ロータリポンプ内臓の卓上型です。20cm×40cmのスペースがあればどこにでも設置可能です。
重さは14kg、テーブルの片隅でお使い頂けます。

■ MSP-1S マグネトロンスパッタ装置 仕様

 装置型名  MSP-1S形
 装置サイズ  幅200mm×高さ350mm×奥行き340mm
 RP内臓、卓上型、重さ14kg
 試料室サイズ  内径120mm×深さ65mm、硬質ガラス製
 ターゲット電極サイズ  直径55mm、永久磁石内臓マグネトロン型
 試料台サイズ  直径50mm、アノード電極分離フローティング方式
 標準付属ターゲット  Au-Pd
 オプションターゲット  Au、Pt-Pd、Pt
 電極−試料台間隔  35mm、間隔調節補助台付属

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