|
|
 |

プレーナーマグネトロン型ターゲットです。
極めて低い放電電圧でスパッタさせるので試料にイオンダメージや熱的損傷がありません。

試料台はアノード電極と絶縁したフローティングタイプです。
試料に電子の流入がないので温度上昇が少なく、イオン衝撃によるダメージがありません。

マグネトロンスパッタに最適な真空度は6〜8Paです。
本装置ではロータリポンプの排気速度とエアリークのバランスで自動的に最適真空度範囲を保持します。マニュアルで圧力調整をする必要がありません。

真空排気から放電電圧印加までタイマーでコントロールします。
タイマーには放電終了までのトータル時間をセットします。
タイマーにセットした時間の最初の1分は予備排気時間、残りの時間が実際のコーティング時間になります。
試料をセットしてSTARTボタンを押すとロータリポンプが始動し、1分間予備排気後、放電が始まります。放電が終了するとロータリポンプが停止、試料室とロータリポンプに空気が入ります。

標準ターゲットはAu-Pdです。
Au-Pdは粒状性に優れ高倍率まで対応できるので万能ターゲットとしてお奨めしております。
但し、ご注文時のご指示によりAu, Pt-PdまたはPtターゲットに変更も可能です。
ロータリポンプ内臓の卓上型です。20cm×40cmのスペースがあればどこにでも設置可能です。
重さは14kg、テーブルの片隅でお使い頂けます。
|
 |
■ MSP-1S マグネトロンスパッタ装置 仕様
装置型名 |
MSP-1S形 |
装置サイズ |
幅200mm×高さ350mm×奥行き340mm
RP内臓、卓上型、重さ14kg |
試料室サイズ |
内径120mm×深さ65mm、硬質ガラス製 |
ターゲット電極サイズ |
直径55mm、永久磁石内臓マグネトロン型 |
試料台サイズ |
直径50mm、アノード電極分離フローティング方式 |
標準付属ターゲット |
Au-Pd |
オプションターゲット |
Au、Pt-Pd、Pt |
電極−試料台間隔 |
35mm、間隔調節補助台付属 |
|
 |
|
|
|
|