|
| |
 |
プレーナーマグネトロン型ターゲットです。
極めて低い放電電圧でスパッタさせるので試料にイオンダメージや熱的損傷がありません。
試料台はアノード電極と絶縁したフローティングタイプです。
試料に電子の流入がないので温度上昇が少なく、イオン衝撃によるダメージがありません。
マグネトロンスパッタに最適な真空度は6〜8Paです。
本装置ではロータリポンプの排気速度とエアリークのバランスで自動的に最適真空度範囲を保持します。マニュアルで圧力調整をする必要がありません。
真空排気から放電電圧印加までタイマーでコントロールします。
タイマーには放電終了までのトータル時間をセットします。
タイマーにセットした時間の最初の１分は予備排気時間、残りの時間が実際のコーティング時間になります。
試料をセットしてSTARTボタンを押すとロータリポンプが始動し、１分間予備排気後、放電が始まります。放電が終了するとロータリポンプが停止、試料室とロータリポンプに空気が入ります。
標準ターゲットはAu-Pdです。
Au-Pdは粒状性に優れ高倍率まで対応できるので万能ターゲットとしてお奨めしております。
但し、ご注文時のご指示によりAu, Pt-PdまたはPtターゲットに変更も可能です。
ロータリポンプ内臓の卓上型です。20cm×40cmのスペースがあればどこにでも設置可能です。
重さは14kg、テーブルの片隅でお使い頂けます。
|
 |
■ MSP-1S マグネトロンスパッタ装置 仕様
| 装置型名 |
MSP-1S形 |
| 装置サイズ |
幅200mm×高さ350mm×奥行き340mm
RP内臓、卓上型、重さ14kg |
| 試料室サイズ |
内径120mm×深さ65mm、硬質ガラス製 |
| ターゲット電極サイズ |
直径55mm、永久磁石内臓マグネトロン型 |
| 試料台サイズ |
直径50mm、アノード電極分離フローティング方式 |
| 標準付属ターゲット |
Au-Pd |
| オプションターゲット |
Au、Pt-Pd、Pt |
| 電極−試料台間隔 |
35mm、間隔調節補助台付属 |
|
 |
|
|
|
|
|
