小型・卓上型 走査型電子顕微鏡(SEM) Tiny-SEM Mighty-8DX 高性能・低価格 ガンモニタ・スティグマモニタを搭載 無蒸着1kVから高分解能17kVまでレンズ交換で対応

走査型電子顕微鏡のヴェール・ミー

小型・卓上型の走査型電子顕微鏡 Tiny SEMシリーズの販売・デモ・サポート

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  TinySEM Mighty-8  
 
 ■主な特徴
最大で10万倍の倍率まで可能です。
50000倍でもハイクオリティな画像が観察できます。
永久磁石レンズだから面倒な調整は不要です。

カーボンナノチューブ (×50000) メモ用紙(無蒸着) (×250)

 
分解能は、このクラス最高の10nmの分解能です。
約10nm(17kV)、約30nm(2kV)
無蒸着1kVから高分解能17kVまでレンズ交換で対応します。
 
スティグマモニタを搭載!
わかりづらい非点収差補正がこのモニタでビジュアルに行えます。
画面上でピントの合った箇所を画面の中央に移動するだけで完了です。
 
2次電子検出器の電子補足用電圧の切り替え
電圧を切り替えることで、簡易的に反射電子像を得ることが可能になりました。
 
ガンモニターを装備することにより、簡単に電子銃の調整ができるようになりました。
軸合わせやフィラメント調整もしっかりできて、最適条件での測定が行えます。
 
実験台に設置できるコンパクトさ。
100Vコンセントさえあれば、
実験台の上にすぐ設置できます。
除振台も不要です。

画像はCFメモリーカードに保存するので
観察時は、パソコンが不要です。
横幅90センチの省スペースを実現しました。
 
レンズ交換に対応しています。
標準で2kVと17kVのレンズが付属しています。
オプションで1kVと5kVのレンズもあります。
 
付属のパソコン画像取込用ソフトウェア「Tiny-Capture」はシンプル設計なのでCaptureボタンをクリックすると、自動的に画像の取り込みがスタート。誰でも簡単にSEM画像を取り込むことができます。保存もSaveボタンをクリックするだけの簡単ステップです。
インターフェイス本体、ソフトウェア共にOSはWindows Vista, XP, 2000, Meに対応。1280X960画素の高精細SEM画像を取込、BMP形式での保存が可能です。
 
CFメモリーカード(コンパクトフラッシュ)に、画像を保存することができます。
パソコンへは、CFメモリーカード経由で取り込むことが可能です。
標準で256MBのCFメモリーカードが付属しています。
市販のCFメモリーカード(高速タイプ推奨)も使用可能です。
ただし最大画像ファイル数512です。
 
総重量わずか35kgです。
移動もらくらくです。
さらに超省エネ設計(300W)で環境にも配慮しています。
 ■製品仕様    
 加速電圧 2kV、17kV (1kV、5kVオプション)
 分解能 約10nm (17kV)、 約30nm (2kV)
 倍率 ×25(2kV):×30(17kV)〜×100,000
 電子銃 タングステン熱電子タイプ(ガンモニタ機能付き)
 電子レンズ 永久磁石型電子レンズ
 検出器 2次電子検出器  
 試料サイズ φ15mm、可動範囲 14mm×14mm (標準微動)
φ50mm (大型微動:大形ステージモデルもしくはオプション)
 真空排気系 ターボ分子ポンプ+ダイアフラムポンプ
 排気時間 約3分
 画像出力 画像取込ソフト
インターフェイス
画素数
データフォーマット
対応OS
Tiny-Capture
USB2.0
2560×1920、1280×960、640×480
BMP(階調8ビット)
Windows 2000、XP、Vista
 画像保存 記憶媒体
機能
CF(コンパクトフラッシュ)カードインターフェイス内臓
画像の保存、読み出し、削除
 寸法・重量 顕微鏡本体
制御ユニット
モニタTV
ダイアフラムポンプ
380(W)×350(D)×450(H) 16kg
350(W)×350(D)×120(H) 8kg
340(W)×160(D)×320(H) 4kg
290(W)×170(D)×180(H) 7kg
 電源 単相 100V (50/60Hz) 300W
※製品改良のため、外観・仕様等を予告なしに変更することがありますので、ご了承ください。
 ■価格  
Mighty-8DX 標準モデル
本体価格

顕微鏡本体
ディスプレイユニット
モニタTV
ダイアフラムポンプ
4,950,000円
5,197,500円(税込価格)
Mighty-8DXL 大形ステージモデル
本体価格

顕微鏡本体(大形ステージ)
ディスプレイユニット
モニタTV
ダイアフラムポンプ
5,650,000円
5,932,500円(税込価格)
 ■オプション  
Tiny-Coater (マグネトロンスパッタ装置) [標準モデル用]


税込価格:312,900円


Tiny-SEM標準ステージ対応のマグネトロンスパッタ装置です。マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが可能です。

標準モデルのみに対応しています。
大形ステージをお使いの方は、
マグネトロンスパッタMSP-1S形をご使用ください。

詳細はこちらのページをご覧ください。
マグネトロンスパッタ装置(MSP-1S形) [大形ステージモデル用]



※価格についてはお問合せください。

Tiny-SEM大形ステージ対応のマグネトロンスパッタ装置です。マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが可能です。

大形ステージを装着したTiny SEMを購入された方は、こちらの装置をお選びください。

詳細はこちらのページをご覧ください。
Tiny-SEM 大形ステージ

大きな試料が入る!
予備ポートがあるのでカスタマイズが簡単!
見やすい!使いやすい!回転360度

※価格についてはお問合せください。



オプションで購入することで、サイズの大きい試料にも対応できるようになります。

 最大試料径  φ50mm
 最大試料高さ  7mm
 可動範囲

 X : ±10mm
 Y : ±15mm
 Z : ±2mm

 試料回転  360°
 試料傾斜  試料サイズにより制限あり
 予備ポート  1個(特注ステージ取付可)

このステージを標準装備したMighty-8DXLも
販売しています。

詳細はこちらのページをご覧ください。

反射電子検出器



※価格についてはお問合わせください。

Tiny SEMに反射電子検出器を装着すれば
元素の違いが観察できます。

二次電子では得られないコントラストが
得られます。

(注)
反射電子検出器の装着には、
大形ステージ(オプション)が必要となります。

※詳細はこちらのページをご覧ください。
レンズセット



※価格についてはお問合わせください。
Mighty-8DXは、標準で2kV、17kVのレンズが
付属しています。

Mighty-8DX用のレンズオプションとしては、
1kV、5kVのレンズがご利用できます。

仕様についてはお問い合わせください。

※詳細はこちらのページをご覧ください。