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 ■主な特徴

無蒸着でも10000倍がきれいに観察できます。


好評のTiny-SEM510DXが
機能も充実して、
Tiny-SEM 530に進化。
さらに便利に使いやすく
なりました。






星の砂(無蒸着)










   スギ花粉(無蒸着)

 
分解能は、
加速電圧HIGH(5kV)で20nm、LOW(2kV)で50nmです。
サンプルをそのまま入れて本来の表面形態が観察可能です。

無蒸着(2kV)と高分解能5kVもレンズ交換で対応できるスグレモノです。

 
スティグマモニタを搭載!
わかりづらい非点収差補正がこのモニタでビジュアルに行えます。
画面上でピントの合った箇所を画面の中央に移動するだけで完了です。
 
ガンモニターを装備することにより、簡単に電子銃の調整ができるようになりました。
軸合わせやフィラメント調整もしっかりできて、最適条件での測定が行えます。
 
驚きの省スペース設定です。
実験台の上に載せて、見たいときに直ぐに観察できます。必要なのは100Vコンセントだけ、それ以外は一切必要なし。
もちろん、除振台も不要です。
 
レンズ交換に対応しています。
標準で2kVと5kVのレンズが付属しています。
オプションで1kVのレンズもあります。
 
付属のパソコン画像取込用ソフトウェア「Tiny-Capture」はシンプル設計なのでCaptureボタンをクリックすると、自動的に画像の取り込みがスタート。誰でも簡単にSEM画像を取り込むことができます。保存もSaveボタンをクリックするだけの簡単ステップです。
インターフェイス本体、ソフトウェア共にOSはWindows Vista, XP, 2000, Meに対応。1280X960画素の高精細SEM画像を取込、BMP形式での保存が可能です。
 
CFメモリーカード(コンパクトフラッシュ)に、画像を保存することができます。
パソコンへは、CFメモリーカード経由で取り込むことが可能です。
標準で256MBのCFメモリーカードが付属しています。
市販のCFメモリーカード(高速タイプ推奨)も使用可能です。
ただし最大画像ファイル数512です。
 
顕微鏡本体の重さは、なんと約16kgです。
Tiny-SEMシリーズ中、最軽量のモデルです。
顕微鏡本体、制御ユニット、モニタTV、ダイアフラムポンプをすべてあわせても、
35kgという軽量です。さらに電力250Wの超省エネ設計です。
 ■製品仕様    
加速電圧 HIGH (4〜5kV)、 LOW (2〜3kV) (オプション:1kV)
電子銃 タングステン熱電子タイプ(ガンモニタ機能付き)
電子レンズ 永久磁石型3段電子レンズ系
倍率 ×25〜×100,000  
検出器

2次電子検出器

 
分解能 約20nm(5kV)、 約50nm(2kV)
真空排気系 ターボ分子ポンプ+ダイアフラムポンプ
内部メモリ CF(コンパクトフラッシュ)カードインターフェース内臓
試料微動

標準試料台

可動範囲

φ15mm
(オプション:大型ステージ φ50mm)
14mm×14mm
(オプション:大型ステージ 20mm×30mm)
画像表示 13インチ液晶モニタTV  
画像出力 インターフェイス
画像取込ソフト
     画素数
     階調
     データフォーマット
     対応OS
USB2.0
Tiny-Capture
2560×1920、1280×960、640×480ピクセル
8ビット
BMP
Windows 2000, Me, XP, Vista
寸法・重量 顕微鏡本体
制御ユニット
モニタTV
ダイアフラムポンプ
380(W)×350(D)×450(H) 約16kg
350(W)×350(D)×120(H) 約8kg
340(W)×160(D)×320(H) 約4kg
290(W)×170(D)×180(H) 約7kg
電源 単相 AC100V(50/60Hz) 250W
 
※外観、仕様は改良のため変更することがあります。
 ■価格  
530 標準モデル



※標準モデル以外に以下のモデルもあります

「530L 大形ステージモデル」
(※価格についてはお問い合わせください)

本体価格

顕微鏡本体
制御ユニット
モニタTV
ダイアフラムポンプ
4,300,000円
4,515,000円(税込価格)


 ■オプション  
Tiny-Coater (マグネトロンスパッタ装置)


税込価格:312,900円


Tiny-SEM標準ステージ対応のマグネトロンスパッタ装置です。マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが可能です。

標準モデルのみに対応しています。
大形ステージをお使いの方は、
マグネトロンスパッタMSP-1S形をご使用ください。

※詳細はこちらのページをご覧ください。
マグネトロンスパッタ装置(MSP-1S形) [大形ステージモデル用]



※価格についてはお問合せください。

Tiny-SEM大形ステージ対応のマグネトロンスパッタ装置です。マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが可能です。

大形ステージを装着したTiny SEMを購入された方は、こちらの装置をお選びください。

※詳細はこちらのページをご覧ください。
Tiny-SEM 大形ステージ

大きな試料が入る!
予備ポートがあるのでカスタマイズが簡単!
見やすい!使いやすい!回転360度

※価格についてはお問合せください。

オプションで購入することで、サイズの大きい試料にも対応できるようになります。

 最大試料径  φ50mm
 最大試料高さ  7mm
 可動範囲

 X : ±10mm
 Y : ±15mm
 Z : ±2mm

 試料回転  360°
 試料傾斜  試料サイズにより制限あり
 予備ポート  1個(特注ステージ取付可)

このステージを標準装備したTiny SEM 530Lも
販売しています。

※詳細はこちらのページをご覧ください。

反射電子検出器



※価格についてはお問合わせください。

Tiny SEMに反射電子検出器を装着すれば
元素の違いが観察できます。

二次電子では得られないコントラストが
得られます。

(注)
反射電子検出器の装着には、
大形ステージ(オプション)が必要となります。

※詳細はこちらのページをご覧ください。
レンズセット



※価格についてはお問合わせください。

Tiny SEM 530は、標準で2kV、5kVのレンズが
付属しています。

Tiny SEM 530 用のレンズオプションとしては、
1kVのレンズがご利用できます。

仕様についてはお問い合わせください。

※詳細はこちらのページをご覧ください。

 
     
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