VRME ヴェール・ミー　超小型電子顕微鏡　TINY SEM 東京都町田市

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■主な特徴
	無蒸着でも10000倍がきれいに観察できます。好評のTiny-SEM510が機能も充実して、510DXに進化。もっと使いやすくなりました。星の砂（無蒸着）　　スギ花粉（無蒸着）

	分解能は、加速電圧HIGH(5kV)で20nm、LOW(2kV)で50nmです。サンプルをそのまま入れて本来の表面形態が観察可能です。無蒸着（2kV)と高分解能5kVもレンズ交換で対応できるスグレモノです。

	ガンモニターを装備することにより、簡単に電子銃の調整ができるようになりました。軸合わせやフィラメント調整もしっかりできて、最適条件での測定が行えます。

	驚きの省スペース設定です。実験台の上に載せて、見たいときに直ぐに観察できます。必要なのは100Vコンセントだけ、それ以外は一切必要なし。もちろん、除振台も不要です。

	レンズ交換に対応しています。標準で2kVと5ｋVのレンズが付属しています。オプションで1kVのレンズもあります。

	付属のパソコン画像取込用ソフトウェア「Tiny-Capture」はシンプル設計なのでCaptureボタンをクリックすると、自動的に画像の取り込みがスタート。誰でも簡単にSEM画像を取り込むことができます。保存もSaveボタンをクリックするだけの簡単ステップです。インターフェイス本体、ソフトウェア共にOSはWindows Vista, XP, 2000, Meに対応。1280X960画素の高精細SEM画像を取込、BMP形式での保存が可能です。

	CFメモリーカード（コンパクトフラッシュ）に、画像を保存することができます。パソコンへは、CFメモリーカード経由で取り込むことが可能です。標準で256MBのCFメモリーカードが付属しています。市販のCFメモリーカード（高速タイプ推奨）も使用可能です。ただし最大画像ファイル数512です。

	顕微鏡本体の重さは、なんと約16kgです。 Tiny-SEMシリーズ中、最軽量のモデルです。顕微鏡本体、制御ユニット、モニタTV、ダイアフラムポンプをすべてあわせても、 35kgという軽量です。さらに電力250Wの超省エネ設計です。

■製品仕様
加速電圧	HIGH (4～5kV)、　LOW (2～3kV)　（オプション：1kV）
電子銃	タングステン熱電子タイプ（ガンモニタ機能付き）
電子レンズ	永久磁石型3段電子レンズ系
倍率	×25～×100,000
検出器	2次電子検出器
分解能	約20nm(5kV)、　約50nm(2kV)
真空排気系	ターボ分子ポンプ＋ダイアフラムポンプ
内部メモリ	CF（コンパクトフラッシュ）カードインターフェース内臓
試料微動	標準試料台可動範囲	φ15mm （オプション：大型ステージ　φ50mm） 14mm×14mm (オプション：大型ステージ　20mm×30mm）
画像表示	13インチ液晶モニタTV
画像出力	インターフェイス画像取込ソフト　　　　　画素数　　　　　階調　　　　　データフォーマット　　　　　対応OS	USB2.0 Tiny-Capture 2560×1920、1280×960、640×480ピクセル 8ビット BMP Windows 2000, Me, XP, Vista
寸法・重量	顕微鏡本体制御ユニットモニタTV ダイアフラムポンプ	380(W)×350(D)×450(H)　約16kg 350(W)×350(D)×120(H)　約8kg 340(W)×160(D)×320(H)　約4kg 290(W)×170(D)×180(H)　約7kg
電源	単相　AC100V(50/60Hz)　250W
	※外観、仕様は改良のため変更することがあります。

■価格
510DX 標準モデル ※標準モデル以外に以下のモデルもあります「510DX-L 大形ステージモデル」（※価格についてはお問い合わせください）	本体価格顕微鏡本体制御ユニットモニタTV ダイアフラムポンプ 4,200,000円 4,410,000円（税込価格）

　■オプション

Tiny-Coater （マグネトロンスパッタ装置）

税込価格：312,900円

Tiny-SEM標準ステージ対応のマグネトロンスパッタ装置です。マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが可能です。

標準モデルのみに対応しています。
大形ステージをお使いの方は、
マグネトロンスパッタMSP-1S形をご使用ください。

※詳細はこちらのページをご覧ください。

マグネトロンスパッタ装置（MSP-1S形）　[大形ステージモデル用]

※価格についてはお問合せください。

Tiny-SEM大形ステージ対応のマグネトロンスパッタ装置です。マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが可能です。

大形ステージを装着したTiny SEMを購入された方は、こちらの装置をお選びください。

※詳細はこちらのページをご覧ください。

Tiny-SEM 大形ステージ

大きな試料が入る！
予備ポートがあるのでカスタマイズが簡単！
見やすい！使いやすい！回転３６０度

※価格についてはお問合せください。

オプションで購入することで、サイズの大きい試料にも対応できるようになります。

最大試料径	φ50mm
最大試料高さ	7mm
可動範囲	X　：　±10mm 　Y　：　±15mm 　Z　：　±2mm
試料回転	360°
試料傾斜	試料サイズにより制限あり
予備ポート	１個（特注ステージ取付可）

このステージを標準装備したTiny SEM 510DX-Lも
販売しています。

※詳細はこちらのページをご覧ください。

反射電子検出器

※価格についてはお問合わせください。

Tiny SEMに反射電子検出器を装着すれば
元素の違いが観察できます。

二次電子では得られないコントラストが
得られます。

（注）
反射電子検出器の装着には、
大形ステージ（オプション）が必要となります。

※詳細はこちらのページをご覧ください。

レンズセット

※価格についてはお問合わせください。

Tiny SEM 510DXは、標準で2kV、5kVのレンズが
付属しています。

Tiny SEM 510DX 用のレンズオプションとしては、
1kVのレンズがご利用できます。

仕様についてはお問い合わせください。

※詳細はこちらのページをご覧ください。