走査型電子顕微鏡の試料コーティング装置 Tiny-Coater タイニーコーター マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングできます！ 簡単操作！
小型・卓上型の走査型電子顕微鏡 Tiny SEMシリーズの販売・デモ・サポート
マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが出来ます。
低電圧放電に加え、試料台がフローティング式なので試料の損傷がありません。
コーティングチャンバーをSEM試料室に装着し、SEM本体で排気します。
コーティングの厚さに応じてタイマーをセットし、スタートボタンを押すと、自動的にコーティングされます。
■ タイニーコータ本体部仕様
寸法
160mm(W)×170mm(D)×170mm(H)
重量
約3kg
試料室
内径40mm×深さ70mm 材質：アルミ製
ターゲット電極
直径20mm 永久磁石内臓マグネトロン型
試料台
直径15mm アノード電極分離フローティング方式
ターゲット
Au-Pd（標準） オプション：Au, Pt-Pd, Pt
電極-試料間隔
10mm
※外観、仕様は改良のため変更することがあります。
※本装置はTiny SEMの標準ステージのみに対応しています。大形ステージをお使いの方は、
マグネトロンスパッタMSP-1S形をご使用ください。
価格
298,000円 （税込価格：312,900円）
コーティングチャンバーをSEM試料室に装着し、SEM本体で排気します。
