走査型電子顕微鏡の試料コーティング装置 Tiny-Coater タイニーコーター マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングできます! 簡単操作!

走査型電子顕微鏡のヴェール・ミー

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マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが出来ます。
低電圧放電に加え、試料台がフローティング式なので試料の損傷がありません。

コーティングチャンバーをSEM試料室に装着し、SEM本体で排気します。
コーティングの厚さに応じてタイマーをセットし、スタートボタンを押すと、自動的にコーティングされます。
■ タイニーコータ本体部仕様

 寸法  160mm(W)×170mm(D)×170mm(H)
 重量  約3kg
 試料室

 内径40mm×深さ70mm 材質:アルミ製

 ターゲット電極  直径20mm 永久磁石内臓マグネトロン型
 試料台  直径15mm アノード電極分離フローティング方式
 ターゲット  Au-Pd(標準) オプション:Au, Pt-Pd, Pt
 電極-試料間隔  10mm
※外観、仕様は改良のため変更することがあります。

※本装置はTiny SEMの標準ステージのみに対応しています。大形ステージをお使いの方は、
マグネトロンスパッタMSP-1S形をご使用ください。
価格
  298,000円 (税込価格:312,900円)