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マグネトロン電極により極めて低い電圧でコーティングが出来ます。
低電圧放電に加え、試料台がフローティング式なので試料の損傷がありません。
コーティングチャンバーをSEM試料室に装着し、SEM本体で排気します。
コーティングの厚さに応じてタイマーをセットし、スタートボタンを押すと、自動的にコーティングされます。
■　タイニーコータ本体部仕様

　寸法 　160mm(W)×170mm(D)×170mm(H)
　重量 　約3kg
　試料室

　内径40mm×深さ70mm　材質：アルミ製
　ターゲット電極 　直径20mm　永久磁石内臓マグネトロン型
　試料台 　直径15mm　アノード電極分離フローティング方式
　ターゲット 　Au-Pd（標準）　オプション：Au, Pt-Pd, Pt
　電極-試料間隔 　10mm
※外観、仕様は改良のため変更することがあります。

※本装置はTiny SEMの標準ステージのみに対応しています。大形ステージをお使いの方は、
マグネトロンスパッタMSP-1S形をご使用ください。
価格
 　　298,000円　（税込価格：312,900円）
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