高性能DC50kVタイプ FEG用高電圧電源 高安定・低ノイズ 電子顕微鏡  高分解能分析装置(EPMA等) 半導体露光・検査装置(FIB等) 極小加工装置

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 現在、電子線を用いた、高分解能分析機器、半導体露光装置、さらには、極小領域の加工を必要とする産業機器等には、電子流密度が高く、単色光で干渉性が高く、長時間安定性のある、熱陰極型電界放射型電子銃(TFEG)が必要とされています。
このFEG用高電圧電源の開発・安定化は、現実として、かなり困難を極める内容ではありますが、当社技術者の長年の経験をもとに、市場に即応できる高性能な加速電圧DC50kVタイプFEG用高電圧電源 「VRF-5000」を開発いたしました。

 今回、開発したFEG用高電圧電源は、高安定・低ノイズはもちろんのこと、電圧軸調整用の加速電圧ウォブリング機能を搭載しているので、一歩抜き出た高分解能の分析・露光が可能となっております。更に、納入時には、最高の性能が発揮できるように、装置と高電圧電源のマッチングを行います。また、TFEG本体に関しては、ご要望があれば、その装置にジャストフィットしたTFEGの設計・開発も併せて、お受けいたします。尚、機能としては、冷陰極型電界放射型電子銃(CFEG)にも対応可能です。

■ DC50kV-FEG高電圧電源仕様

【1】 絶縁方式:ガス絶縁(SF6)≒大気圧
【2】 定格

項目
設定範囲
最小ステップ
安定度
備考
 加速電圧  〜50kV  0.2kV  5×10-6  
 引出し電圧  0〜8kV  2V  1×10-5  
 サプレッサー電圧  0〜-500V  2V  1×10-5  
 エミッター加熱電流  0〜4A  1mA  1×10-5  定電流回路
 エミッション電流モニター  0〜409.5μA  0.1μA    
 エミッター加熱電流モニター  0〜4.095A  1mA    

【3】  その他仕様

1.コントロール:Windows2000対応GUI
2. 大きさ[mm]:440(W)×440(L)×500(H)
3. 機能:加速電圧ウォブリング、マニュアルコントロール

【4】対象機器
・ 電子顕微鏡
・ 高分解能分析装置(EPMA等)
・ 半導体露光・検査装置(FIB等)
・ 極小加工装置
・ その他、TFEG・CFEG使用装置

価格
  1,853,000円 (税別)